前级泵系统的组成

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-07-15 1:10:17 * 浏览: 2

它由溅射离子泵，分子筛吸附泵，机械泵和一些超高真空阀组成。分子筛吸附泵或机械泵为溅射离子泵提供了必要的启动压力，并在凝结水泵的初始烘烤阶段用作排气泵。启动溅射离子泵后，系统的真空度可达到10 ^ 7Pa。